流化床CVD与固定床CVD的区别：为什么包覆均匀性差这么多？

固定床中颗粒静止堆积，气体走短路、温度梯度大，导致包覆厚度分布宽、批次一致性差；流化床中颗粒处于悬浮翻动状态，每个颗粒都暴露于均一的气相环境，膜层厚度分布窄。本文从传质与传热角度解释两种反应器的差异，并给出聚团粉体（纳米级）流化操作的注意事项。