多晶硅与粉体制备解决方案
流化床气相沉积技术在多晶硅颗粒制备及各类功能粉体生产中具有独特优势，我们提供相应的反应器与工程化服务。
行业痛点
气相沉积制粉对反应器流场、温度场与颗粒循环控制要求高，工程放大难度大。
FBCVD 解决方案
基于流化床气固流动与传热传质设计经验，提供反应器设计、中试验证与放大支持。
1
流场优化设计
抑制颗粒聚团与扬析，保证稳定操作窗口。
2
中试验证平台
中试级反应器支持客户工艺验证与参数摸索。
3
工程放大支持
从机理分析到设备放大的全流程技术服务。
4
定制内件
气体分布器、换热内件按工艺定制。
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