嵩

中试型流化床反应器

用于工艺验证与放大的中试级流化床气相沉积反应器，参数可调范围宽，衔接实验与量产。

SR-M 中试型流化床气相沉积反应器

中试级 FBCVD 反应器，参数可调范围宽，用于工艺验证与放大，衔接实验与量产。

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