SR-L 实验型流化床气相沉积反应器

桌面/小型实验型 FBCVD 反应器,用于催化剂评价、沉积工艺摸索与材料小试。

单炉处理量0.1-5 kg/批
沉积温度室温-1100

产品介绍

产品定位

SR-L 系列为实验室级流化床气相沉积装置,单炉处理量 0.1-5kg,适合高校、研究院所与企业研发部门。

技术特点

  • 体积小巧,手套箱旁即可布置
  • 温度、流量精密控制
  • 可选配质谱/气相在线分析接口

技术参数

项目参数单位
单炉处理量0.1-5kg/批
沉积温度室温-1100

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