SR-P 量产型流化床气相沉积反应器

产品定位

SR-P 系列为量产级流化床气相沉积反应器，用于硅烷沉积、碳源裂解包覆等工艺，满足硅碳负极材料吨级连续生产需求。

技术特点

• 分区进气与分布器优化设计，流化均匀、防聚团
• 分区控温，沉积温度窗口稳定（±2℃）
• 连续进出料结构，生产节拍可控
• 配套配气系统、尾气处理系统与安全联锁

典型应用

CVD 硅碳负极材料、碳纳米管粉体、颗粒碳包覆。