嵩瑞耐材流化床反应器产线建成投产，服务硅碳负极行业
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嵩瑞耐材流化床反应器产线建成投产，服务硅碳负极行业
近日，公司流化床反应器（FBCVD）产线完成安装调试并正式投产，面向硅碳负极、半导体前驱体沉积等对温度均匀性和流化稳定性要求苛刻的工艺场景。
新产线覆盖从实验室级、中试级到量产级三档规格，反应器内径从实验室级的数百毫米到量产级的米级规格可按工艺需求定制。整套系统由流化床反应器主体、气体分布板、加热与控温单元、尾气处理和在线监测组成，温度均匀性、流化状态稳定性和气密性均按半导体级工艺标准调试交付。
针对硅碳负极客户的痛点，产线在三个层面做了强化：一是气体分布板的开孔率与压降经过流态化仿真校核，避免沟流与节涌造成的包覆不均；二是多点测温与分区控温，把沉积区温差控制在工艺窗口内；三是尾气单元对未反应硅烷与副产粉尘的安全处置，满足批量生产的安全与环保要求。
除反应器主机外，公司可承接从工艺小试、设备选型、厂房布置到安装调试的全流程交付，并提供开车陪产与工艺人员培训。已有客户按图纸定制的异形反应器部件（分布板、旋风分离内件、测温套管等）也已纳入标准备件体系，缩短检修周期。
后续公司将以该产线为基础，持续跟进硅碳负极扩产与下一代多孔碳工艺的装备需求，欢迎客户带工艺参数前来沟通选型。