硅碳负极材料
面向硅碳负极材料 CVD 包覆的整体工艺与装备方案，提供实验、中试、量产三级流化床反应器及配套系统。
行业痛点
硅碳负极包覆面临沉积均匀性、批次稳定性、硅烷安全与量产放大四大挑战，单一设备难以覆盖从研发到量产的全过程。
FBCVD 解决方案
采用流化床气相沉积（FBCVD）路线，提供 SR-L/SR-M/SR-P 三级反应器，支持硅烷沉积与碳包覆组合工艺；配套配气、尾气处理与安全联锁，配合工艺验证与放大支持，实现从配方开发到吨级量产的无缝衔接。
1
三级放大
实验-中试-量产反应器联动，覆盖完整放大路径。
2
组合工艺
硅烷沉积与碳包覆一体化，包覆均匀稳定。
3
安全合规
硅烷泄漏监测、联锁保护与尾气达标处理。
4
稳定量产
批次一致性与温控精度保障吨级连续生产。
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