应用案例

客户案例一览

某新能源材料企业引入粉体原子层沉积（FB-ALD）设备，用于高附加值粉体材料的原子级均匀包覆。公司交付实验级/量产级 FB-ALD 流化床反应器，包覆均匀、批次稳定，满足高端粉体制备需求。

某功能性粉体企业拟对氧化铝、二氧化硅等粉体进行表面包覆改性，以改善分散性、耐候性与功能性。公司交付流化床包覆改性装备及配套温控、气路与收集系统，处理 800-1200 目微粉，包覆率与均匀性稳定，粉尘控制与尾气处理达标。

某锂电负极材料企业拟将硅碳负极中试 FBCVD 工艺放大至量产。公司交付量产型流化床 CVD 反应器及配套气路、温控与尾气系统，批处理量提升至单炉中试的 4 倍，包覆均匀性、首效与循环稳定性满足客户指标，一次联动试车通过。

某多晶硅/粉体企业现有流化床装置配套系统老化，配气精度低、温控波动大、尾气处理不达标。公司整体升级配气、尾气、温控三大系统，配气精度达 ±0.8%、温度波动收窄至 ±2℃，尾气排放达标，装置停机时间明显下降。

某粉体材料企业原用固定床工艺做 CVD 颗粒包覆改性，包覆均匀性差、产能受限。公司交付 SR-P 量产型流化床气相沉积反应器及配套系统，包覆均匀性 CV 2.8%、批次重复性 CV 4.5%，产能提升约 3 倍，实现连续稳定生产。

客户原有流化床反应器存在结壁、沟流问题，产率不稳定。公司重新设计气体分布器与内件，优化流化质量，改造后单炉产率提升约 20%，长周期运行稳定。

客户建设中试级硅碳负极产线，公司交付 SR-M 中试型流化床气相沉积反应器及配套配气、尾气系统，协助完成硅烷沉积工艺验证，包覆均匀性达到客户指标，为量产线设计提供放大依据。