配套系统
配气系统、尾气处理系统、温控系统等流化床反应器配套装备,保障安全环保稳定运行。
本分类产品

FBCVD 配套系统(配气/尾气/温控)
流化床反应器配套配气系统、尾气处理系统与温控系统,保障安全、环保、稳定运行。
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炉体工程与耐材部件
面向流化床反应器、CVD 炉等高温装备的炉体设计与耐材部件,采用高纯氧化铝、石英、碳化硅等材质,提供保温衬里、炉管炉膛与浇注料、耐火砖配套,覆盖从实验室到量产。
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流化床反应器配套配气系统、尾气处理系统与温控系统,保障安全、环保、稳定运行。
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面向流化床反应器、CVD 炉等高温装备的炉体设计与耐材部件,采用高纯氧化铝、石英、碳化硅等材质,提供保温衬里、炉管炉膛与浇注料、耐火砖配套,覆盖从实验室到量产。
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