产品介绍
产品定位
SR-L 实验型流化床气相沉积反应器面向研发与小试场景，用于硅碳负极、碳纳米管、粉体包覆等 CVD 工艺的配方开发、工艺探索与材料验证，是实验室向产业化过渡的基础平台。
工作原理
在实验室规模实现流化床气相沉积，支持多种气源组合，可通过分区控温与气氛调节考察温度、气体配比、时间等参数对包覆效果的影响，为放大提供依据。
技术特点
- 紧凑台式/柜式设计，占地小、操作便捷
- 多气源切换，适配硅烷、乙炔、氮气等
- 温度场均匀，控温精准，数据记录完整
- 具备基础安全联锁，适配高校与研发机构
技术参数（行业典型参考，具体以定制设计为准）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | SR-L 实验型 |
| 处理量 | 升级批次（1-3 L，可定制） |
| 沉积温度 | ≤850-950℃ |
| 气源 | SiH4、C2H2、N2、H2、Ar、CH4 等 |
| 操作方式 | 批次实验 |
| 安全配置 | 泄漏监测、联锁保护 |
典型应用
- 硅碳负极材料小试与配方开发
- 粉体 CVD 包覆工艺探索
- 碳纳米管、颗粒碳包覆实验
服务支持
提供实验装置设计、制造、安装与工艺支持，可与中试、量产型联动形成完整放大路径。
技术参数
| 项目 | 参数 | 单位 |
|---|---|---|
| 单炉处理量 | 0.1-5 kg/批 | |
| 沉积温度 | 室温-1100 ℃ |
常见问题
可以。嵩瑞在中试反应器上为客户提供工艺验证服务，包括：(1) 客户来料测试，验证产品品质是否达标；(2) 工艺参数优化，确定最佳温度、流量和压力组合；(3) 稳定性测试，连续运行 72h 以上验证工艺可重复性；(4) 出具工艺验证报告，作为量产设计依据。验证费用可抵扣量产设备采购款。
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