产品介绍
产品定位
SR-L 系列为实验室级流化床气相沉积装置，单炉处理量 0.1-5kg，适合高校、研究院所与企业研发部门。
技术特点
- 体积小巧，手套箱旁即可布置
- 温度、流量精密控制
- 可选配质谱/气相在线分析接口
技术参数
| 项目 | 参数 | 单位 |
|---|---|---|
| 单炉处理量 | 0.1-5 | kg/批 |
| 沉积温度 | 室温-1100 | ℃ |
常见问题
可以。嵩瑞在中试反应器上为客户提供工艺验证服务，包括：(1) 客户来料测试，验证产品品质是否达标；(2) 工艺参数优化，确定最佳温度、流量和压力组合；(3) 稳定性测试，连续运行 72h 以上验证工艺可重复性；(4) 出具工艺验证报告，作为量产设计依据。验证费用可抵扣量产设备采购款。
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