SR-P 量产型流化床气相沉积反应器

产品定位

SR-P 系列为量产级流化床气相沉积（FBCVD）反应器，用于硅烷沉积、碳源裂解包覆等工艺，满足硅碳负极材料吨级连续生产需求，兼顾处理量、包覆均匀性与运行稳定性。

工作原理

物料粉体在反应器内由自下而上的气流作用形成流化状态，颗粒悬浮翻动、受热均匀；硅烷或碳源气体经分布器均匀进入床层，与颗粒充分接触并在其表面发生气相沉积，形成均匀包覆层。流化态有效避免局部过热与沉积不均，是硅碳负极包覆的成熟工艺路线。

技术特点

• 分区进气与分布器优化设计，流化均匀、有效防聚团
• 分区控温，沉积温度窗口稳定（±2℃）
• 连续进出料结构，生产节拍可控，适配量产
• 配套配气系统、尾气处理系统与安全联锁，满足硅烷安全要求
• 多点温度、压力、流量监测，工艺可重复性好

技术参数（行业典型参考，具体以定制设计为准）

典型应用

• 硅碳负极材料 CVD 包覆（吨级连续生产）
• 碳纳米管粉体改性
• 颗粒碳包覆与表面处理
• 粉体材料气相沉积工艺放大

选型参考

SR-P 量产型适用于规模化量产；SR-M 中试型适用于工艺放大验证；SR-L 实验型适用于小试与配方开发。三档联动，支持从实验室到产线的完整放大路径。

常见问题

• FBCVD 硅烷使用是否安全？参见 FAQ「FBCVD 工艺中硅烷使用的安全要点」
• 流化床与固定床沉积如何选择？参见 FAQ「流化床与固定床气相沉积的区别」
• 如何根据产能选型？参见 FAQ「硅碳负极 CVD 设备如何选型」

服务支持

提供工艺设计、设备制造、安装调试与达产服务，可配套配气系统、尾气处理系统与安全联锁整体方案。