客户建设中试级硅碳负极产线,公司交付 SR-M 中试型流化床气相沉积反应器及配套配气、尾气系统,协助完成硅烷沉积工艺验证,包覆均匀性达到客户指标,为量产线设计提供放大依据。
中试级 FBCVD 反应器,参数可调范围宽,用于工艺验证与放大,衔接实验与量产。