SR-M 中试型流化床气相沉积反应器

中试级 FBCVD 反应器,参数可调范围宽,用于工艺验证与放大,衔接实验与量产。

单炉处理量5-50 kg/批
沉积温度400-1100
控温精度±2

产品介绍

产品定位

SR-M 系列面向科研院所与材料企业的中试放大需求,单炉处理量 5-50kg,可完整复现量产反应器流场与温度场特征。

技术特点

  • 温度、气量、压力宽范围可调
  • 模块化设计,可快速更换分布器与内件
  • 完整数据采集系统,便于工艺建模

技术参数

项目参数单位
单炉处理量5-50kg/批
沉积温度400-1100
控温精度±2

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