FBCVD 配套系统（配气/尾气/温控）

产品范围

• 配气系统：多路质量流量控制，硅烷/碳源/载气精确配比
• 尾气处理：燃烧塔、喷淋吸收、除尘，满足环保排放
• 温控系统：多区加热与冷却，程序升温控制

价值

与反应器一体化设计交付，减少接口风险，缩短现场调试周期。