某硅碳负极企业中试线FBCVD反应器交付

项目背景

某新能源材料企业开发硅碳负极材料，需要从中试级别验证流化床CVD工艺路线，为后续量产投资提供决策依据。客户要求反应器能精确复现量产级流场特征，并支持多种硅源/碳源切换。

客户需求

需求项	规格
单炉处理量	5-50 kg/批次
沉积温度	400-650℃ 可调
温度均匀性	±2℃
适用气体	硅烷/乙烯/丙烯/N2/Ar
数据采集	温度、压力、流量、尾气成分
安全要求	硅烷安全联锁、尾气处理

交付方案

交付 SR-M 中试型流化床气相沉积反应器一套，包含：

• 反应器主体：直径 300mm，高度 2000mm，316L 不锈钢
• 加热系统：分区控温（3 段），额定功率 25kW
• 配气系统：质量流量计 x 6 路，含硅烷专用管路
• 尾气处理：水喷淋塔 + 燃烧处理 + 活性炭吸附
• 安全系统：硅烷泄漏检测、压力联锁、紧急吹扫
• 数据采集：触摸屏 HMI + 数据导出接口

项目成效

指标	设计值	实测值
温度均匀性	±3℃	±1.8℃
沉积速率	0.5-2 nm/min	0.8-1.8 nm/min
包覆均匀性	CV<5%	CV=3.2%
批次重复性	CV<8%	CV=5.1%
安全运行	零事故	零事故

客户基于中试数据完成了量产线投资决策，后续采购了 SR-P 量产型反应器。