某锂电负极材料企业 硅碳负极包覆产线 流化床CVD放大交付项目
新能源材料
项目背景
某锂电负极材料企业在完成硅碳负极 FBCVD 中试验证后，拟将工艺放大至量产。核心诉求是保持包覆层的均匀性与批次一致性，同时提升单炉处理量、控制反应温度均匀性并满足含硅烷工艺的安全与环保要求。
项目参数
| 参数项 | 数值 |
|---|---|
| 单炉处理量 | 中试的 4 倍（量产放大） |
| 反应类型 | 流化床化学气相沉积（CVD） |
| 反应温度 | 600-900℃ |
| 流化介质 | 高纯惰性气体 + 硅烷/碳源 |
| 主体材质 | 不锈钢 + 耐高温内衬 |
| 温控方式 | 分区温控 + 在线监测 |
| 环保配套 | 尾气洗涤 + 除尘 + 安全联锁 |
实施方案
交付量产型流化床 CVD 反应器（不锈钢主体、分区加热带与锥形分布板）及配套气路分配、温控与尾气处理系统。通过分布板结构与流化气量优化保证床层均匀流化，分区温控维持反应温度稳定，硅烷/碳源按程序定量通入实现颗粒表面均匀包覆。系统配置含硅工艺所需的安全联锁与尾气洗涤，满足生产安全与环保要求。
关键节点：工艺放大设计（1 月）、设备制造（2-3 月）、安装与气密性测试（第 4 月）、流化与温控调试（第 5 月）、联动试车与验收（第 6 月）。
项目成效
| 指标 | 目标值 | 实测值 |
|---|---|---|
| 单炉处理量 | 中试 4 倍 | 达到 |
| 包覆均匀性 | 批间一致 | 稳定一致 |
| 首效 | 满足客户指标 | 达标 |
| 循环稳定性 | 满足客户指标 | 达标 |
| 联动试车 | 一次通过 | 通过 |
客户评价：量产放大后包覆均匀性与批次一致性保持良好，配套安全与环保系统满足硅烷工艺要求，为后续扩产奠定基础。