某新能源材料企业 粉体原子层沉积（FB-ALD）设备交付
新能源/粉体材料
项目背景
某新能源/粉体材料企业需为高附加值粉体产品建立原子级均匀包覆能力。传统液相包覆均匀性有限，引入流化床粉体原子层沉积（FB-ALD），实现原子级厚度可控、高各向同性的表面包覆。
项目参数
| 参数项 | 数值 |
|---|---|
| 设备类型 | 流化床粉体原子层沉积（FB-ALD） |
| 适用粉体 | D50=2-1000μm |
| 沉积温度 | 按前驱体（约100-400℃） |
| 包覆均匀性 | 原子级、高各向同性 |
| 规格 | 实验级 / 量产级 |
| 控制 | PLC + 工艺参数记录 |
实施方案
交付 FB-ALD 流化床反应器及配套前驱体供给、流化气路、温控与尾气处理系统。粉体在反应器内形成流化态，前驱体交替脉冲进入，在颗粒表面实现原子级沉积包覆，包覆均匀、厚度可控。 关键节点：设备制造（1-2月）、安装（第3月）、试机与工艺验证（4-5月）、达产验收（第6月）。
项目成效
| 指标 | 目标值 | 实测值 |
|---|---|---|
| 包覆均匀性 | 原子级均匀 | 达标 |
| 批次稳定性 | 良好 | 达标 |
| 包覆厚度可控 | 是 | 达标 |
| 规格匹配 | 匹配工艺 | 达产 |
客户评价：FB-ALD 包覆均匀、批次稳定，满足高附加值粉体材料制备需求。