产品介绍
产品定位
SR-M 系列面向科研院所与材料企业的中试放大需求，单炉处理量 5-50kg，可完整复现量产反应器流场与温度场特征。
技术特点
- 温度、气量、压力宽范围可调
- 模块化设计，可快速更换分布器与内件
- 完整数据采集系统，便于工艺建模
技术参数
| 项目 | 参数 | 单位 |
|---|---|---|
| 单炉处理量 | 5-50 | kg/批 |
| 沉积温度 | 400-1100 | ℃ |
| 控温精度 | ±2 | ℃ |
常见问题
可以。嵩瑞在中试反应器上为客户提供工艺验证服务，包括：(1) 客户来料测试，验证产品品质是否达标；(2) 工艺参数优化，确定最佳温度、流量和压力组合；(3) 稳定性测试，连续运行 72h 以上验证工艺可重复性；(4) 出具工艺验证报告，作为量产设计依据。验证费用可抵扣量产设备采购款。
应用案例
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