产品介绍
产品定位
SR-M 中试型流化床气相沉积反应器用于硅碳负极等粉体材料 CVD 包覆的工艺放大验证，介于实验室小试与量产之间，帮助客户在中等批量下确认工艺参数、批次稳定性与放大可行性。
工作原理
在实验室小试基础上放大床层尺寸与处理量，采用流化床气相沉积实现粉体颗粒表面均匀包覆；支持硅烷沉积与碳包覆组合工艺，用于验证量产前工艺窗口与批次一致性。
技术特点
- 中等处理量设计，兼顾试验灵活性与放大代表性
- 流化均匀、温控精准（±2℃），批次稳定
- 可灵活切换气源与工艺条件，适配多品种试验
- 配套配气、尾气处理与安全联锁
技术参数（行业典型参考，具体以定制设计为准）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | SR-M 中试型 |
| 处理量 | 公斤级至数十公斤级（可定制） |
| 沉积温度 | ≤850-950℃（分区设定） |
| 气源 | SiH4、C2H2、N2、H2、Ar、CH4 等 |
| 温度精度 | ±2℃ |
| 安全配置 | 硅烷泄漏监测、联锁保护 |
典型应用
- 硅碳负极 CVD 包覆中试验证
- 碳纳米管/粉体包覆工艺放大
- 量产前工艺窗口与批次稳定性研究
服务支持
提供中试装置设计、制造、安装调试与工艺放大支持，配套量产型联动方案。
技术参数
| 项目 | 参数 | 单位 |
|---|---|---|
| 单炉处理量 | 5-50 kg/批 | |
| 沉积温度 | 400-1100 ℃ | |
| 控温精度 | ±2 ℃ |
常见问题
可以。嵩瑞在中试反应器上为客户提供工艺验证服务，包括：(1) 客户来料测试，验证产品品质是否达标；(2) 工艺参数优化，确定最佳温度、流量和压力组合；(3) 稳定性测试，连续运行 72h 以上验证工艺可重复性；(4) 出具工艺验证报告，作为量产设计依据。验证费用可抵扣量产设备采购款。
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