产品介绍
产品范围
- 配气系统：多路质量流量控制，硅烷/碳源/载气精确配比
- 尾气处理：燃烧塔、喷淋吸收、除尘，满足环保排放
- 温控系统：多区加热与冷却，程序升温控制
价值
与反应器一体化设计交付，减少接口风险，缩短现场调试周期。
技术参数
| 项目 | 参数 | 单位 |
|---|---|---|
| 气路数 | 2-12 | 路 |
| MFC精度 | ±1 | %FS |
常见问题
尾气处理系统维护：(1) 每周检查尾气过滤器压差，及时更换滤芯；(2) 每月检查洗涤塔喷淋喷嘴，清理堵塞；(3) 每季度检查尾气在线分析仪校准；(4) 每半年检查燃烧处理装置（如配置）的燃烧器和耐火衬里；(5) 定期更换活性炭吸附床（如配置）。嵩瑞配套尾气处理系统含维护手册。
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